晴時多雲

應用材料推出創新的蝕刻技術新機台 應用生產3D產品

2016/06/30 11:45

應用材料公司推出創新選擇性材料技術,帶來蝕刻技術的變革。晶片製造商正採用這些技術,製造先進的 FinFET和記憶體。(應用材料提供)

〔記者洪友芳/新竹報導〕半導體設備大廠應用材料公司推出革新蝕刻技術的機台,為業界首度使用極限選擇性蝕刻機台,導入新材料工程的能力,可執行3D邏輯與記憶體晶片的持續微縮工程。

 

應用材料公司副總裁暨選擇性移除產品事業部總經理尚卡爾‧范卡塔瑞邁 (Shankar Venkataraman) 表示,製造先進晶片時,最大的障礙在於如何選擇性地移除特定材料,又不損壞多層裝置中其他外露的材料,新推出的Applied Producer® Selectra™ 系統為蝕刻產品中的最新創新,提供能延伸摩爾定律的極限選擇性,可創造新的市場商機。

應用材料表示,Selectra 系統的突破性製程可進入最小的空間內,提供前所未見的材料選擇性及原子級的蝕刻精確度,適用各式各樣的介電質、金屬和半導體薄膜,適用於3D的圖案成形、邏輯、晶圓代工、 3D NAND和DRAM。

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