晴時多雲

槓上台積電!三星宣布採EUV量產7奈米製程

2018/10/18 15:04

三星宣布7奈米LPP製程已開發完備並投產,且使用極紫外線微影(EUV)製造。(路透)

〔編譯廖振堯/綜合報導〕晶圓代工龍頭台積電7奈米製程領先業界,訂單有蘋果(Apple)、超微(AMD)及人工智慧(AI)等利多助陣,後續營運看好。另一巨頭三星電子(Samsung Electronics)也積極追趕台積電進度,今日於官網宣佈其7奈米LPP製程已開發完備並投產,使用極紫外線微影(EUV)製造,可望減少層數、提高性能、降低功耗。

三星表示,其「三星先進晶圓代工生態系統」(SAFE)已準備好引入EUV技術、7奈米LPP製程。與非EUV技術相比,7奈米LPP製程可將光罩數減少約20%,節省生產過程及成本。相較前身的10奈米FinFET製程,7奈米LPP製程能減少40%晶片面積、提升20%性能、降低50%功耗。

矽谷媒體CNET週三則訪問到三星晶圓代工行銷總監史提爾(Bob Stear),他表示,三星的7奈米製程優於台積電,台積電使用的多重圖形曝光需要多達4個光罩,但三星導入EUV只需1個,總體光罩數減少約20%。不過他也透露,三星目前仍有光刻機光源和晶圓產量這2個障礙。目前其EUV光刻機功率已經穩定維持關鍵功率門檻250W長達6個月,最大功率達280W。產量方面,史提爾指出損益平衡約是每日1500片晶圓,現在產量則較此數字高。

史提爾稱,三星決定10奈米到7奈米製程間不採用多重圖形曝光來過渡,而是投入所有資源開發EUV技術生產。此外,代工客戶數量持續成長,但並未透露細節。除7奈米LPP製程,三星也發表了新款SmartSSD固態硬碟,以及基於16GB DRAM晶片的256GB RDIMM。

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