晴時多雲

拿不到EUV 華為突圍有「芯」無力

2020/06/27 05:30

EUV設備難以取得,就算中芯能閃躲禁令,也很難幫得上華為。圖為華為上海旗艦店。(彭博)

〔記者高嘉和/綜合報導〕美國對華為新禁令倒數計時,台積電已無法接受華為海思新訂單,同樣使用荷商艾司摩爾(ASML)極紫外光(EUV)微影設備的三星,也拒華為於門外;中國積極扶植的中芯國際雖向ASML訂購一台EUV設備,但在美國遊說下,荷蘭政府未放行出口,今年只來了一台深紫外光DUV設備,在加工波長上差了逾十四倍;因EUV設備難以取得,就算中芯能閃躲禁令,也很難幫得上華為。

晶圓製造產線的工序多數百道、上千道,且高達十多層流程,每一層都有相對應的設備,幾乎是集各國科技實力。其中,美國在離子蝕刻及注入、薄膜沉積,還有檢測及表面處理設備等,具領導地位;日本強項是半導體刻蝕及晶圓沉澱清洗等設備;荷蘭則幾乎控制了最先進的EUV設備。

雖然中國一再威脅荷蘭政府放行EUV設備,但美國已清楚表達「EUV設備等敏感技術不應屬於某些地方」。EUV設備包括光源、鏡頭及精密儀器製造等,鏡頭來自德國、光源技術是美國,八萬多個零件來自不同國家,且ASML股東中有台積電、三星及英特爾等,加上受到「瓦聖納協議」約束,美國政府的主張,荷蘭政府當然得接受。

其實,就算中芯可閃躲禁令、且拿到EUV設備,但也只佔製程的三成;英特爾也有EUV、還是卡在十奈米製程良率無法突破,中芯很難可幫助華為突圍禁令。

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